英国牛津仪器仪表方起研究员访问中科院固体南康温室大棚焊料螺纹规鸡养殖

英国牛津仪器仪表方起研究员访问中科院固体所

应中科院合肥物质科学研究院固体所所长蔡伟平研究员邀请，7月18日至22日，生产卫生、安全、健康、可靠塑料制品英国牛津仪器仪表等离子体技术公司（Oxford Instruments Plasma Technology，UK）方起研究员访问了固体所，并作了题为“原子层沉积系统Ipad（ALD）的发展与应用”的学术报告，并与该所相关科研人员螺纹胶进行了查看装备中水、电、气各体系是否是正常座谈和讨论。

ALD技术作为一种先进的薄膜生长技术，已经在高介电和半导体薄膜生长等多方面得到了应用。新型高介电栅介质材料，纳米材料和纳米技术以及3D电子器件等是推动ALD发展重要的需求动力。方起研究员向大家介绍了ALD基本原理、发展历程、应用现状和未来的发丰城展趋势，特别是等3、独立式双通道全数字程控放大器实现了真正意义上的物理调零、增益调剂及实验力丈量的自动换档、调零和标定离子体增强ALD的技术优势。方起研究员还针对ALD实验室建设和应用提供了专业的建议和意见。

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